乌鲁木齐建设职业培训中心-MEMS分类的描述中，正确的是（）。

['{"A":"特征尺寸通常是指集成电路中半导体器件的最大尺寸","B":"特征尺寸在1mm-l0mm的为小型机械","C":"特征尺寸在1um-1mm的为微型机构","D":"特征尺寸在1nm-1um的为纳米机械"}']

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