陕西-溅射镀膜中，引入某些活性反应气体与溅射

溅射镀膜中，引入某些活性反应气体与溅射粒子进行化学反应，生成不同于靶材的_______薄膜。['A．掺杂物质', 'B．复合材料', 'C．单质', 'D．化合物']

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