陕西-如果靶材是绝缘材料，在正离子的轰击下就

如果靶材是绝缘材料，在正离子的轰击下就会带正电，从而使电位上升，离子加速电场就逐渐变小，到停止溅射，至辉光放电停止，因此常使用_______溅射镀膜方式。A．射频溅

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